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          主要技術指標
          鍍膜時間設置: 1~3520 sec/ step
          旋涂速度:0~ 5107 rpm
          旋涂加速度:0 ~ 47322 rpm/s (空載)   
          轉速穩定性:1 rpm
          轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
          鍍膜尺寸:φ10 ~ 979 mm                                1
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